Обработка пластин
Оборудование для механической обработки пластин (шлифовки, полировки)
Оборудование
Автоматическая установка шлифовки пластин диаметром до 8" AG6800
Установка AG6800 - это автоматизированная установка для шлифовки и утонения пластин из Si, SiC, GaN, LN, LT, сапфира и других материалов.
Автоматическая установка шлифовки пластин диаметром до 12" AG9500
Установка AG9500 - это автоматизированная двушпиндельная установка для шлифовки и утонения пластин из Si, SiC, GaN, LN, LT, сапфира и других материалов.
Автоматическая установка химико-механической полировки пластин KD36QS4
Установка KD36QS4 - это автоматизированная установка для полировки пластин из Si, Ge, GaAs, сапфира, SiC, InP, GaN и других материалов. Установка KD36QS4 проводит полный процесс химико-механической полировки пластин с одной стороны, загрузка и выгрузка пластин осуществляется вручную.
Установка шлифовки кремниевых пластин WBG1818
WBG1818 — это высокоточная установка для шлифовки кремниевых пластин с поперечной подачей. Устройство предназначено для удаления избыточного материала с обратной стороны пластин, обеспечения высокой плоскопараллельности граней пластин и минимальной шероховатости поверхности.
Установка двусторонней шлифовки-полировки DSLP 45
DSLP 45 — это высокоточная установка для двусторонней шлифовки и полировки оптического стекла, кристаллов, кремниевых пластин, сапфировых пластин, керамических подложек и других твердых материалов. Оборудование использует автоматизированную систему контроля давления и независимый привод всех узлов для достижения высокой точности обработки и долговечности компонентов.