Автоматическая установка шлифовки пластин диаметром до 12" AG9500
Установка AG9500 - это автоматизированная двушпиндельная установка для шлифовки и утонения пластин из Si, SiC, GaN, LN, LT, сапфира и других материалов.
Установка позволяет проводить полный процесс обработки пластин: захват, переворачивание, предварительную очистку, грубую шлифовку, точную шлифовку, финальную очистку, сушку и перемещение в кассету. Поддерживает работу в автоматическом и полуавтоматическом режимах и возможность переключения между ними.
Установка AG9500 позволяет контролировать параметры процесса в режиме реального времени, а также отслеживать состояние шлифовального круга.
Особенности установки шлифовки пластин AG9500
- Высокая однородность шлифовки
- Возможность шлифовки пластин до толщины в 100 мкм
- Полностью автоматизированный процесс
- Позволяет обрабатывать пластины различного диаметра из различных материалов
- Высокая производительность
- Доступны специализированные решения по запросу Заказчика
Технические характеристики установки шлифовки пластин AG9500
| Диаметр пластин | 8’’ - 12’’ |
| Производительность | более 30 пластин/час |
| Скорость вращения шпинделя | 1000 - 4000 об/мин |
| Количество шпинделей | 2 шт. |
| Мощность | 7,5 кВт/8,3 кВт |
| Диапазон перемещений по оси Z | 80 мм |
| Минимальный шаг по оси Z | 0,1 мкм |
| Разрешение по оси Z | 0,1 мкм |
| Скорость обработки по оси Z | 0,0001 - 0,08 мм/с |
| Шероховатость Ra | 20 нм (#2000) |
| TTV | ≤ ±3 мкм (для пластин диаметром 12’’) |
| WTW | ≤ ±3 мкм |
| Метод измерения высоты | Контактный, бесконтактный |
| Доступные конфигурации | Краевая шлифовка, круговая обрезка, защитная ламинация |
| Габаритные размеры | 3140 х 1480 х 1820 мм |
| Вес | 5200 кг |