Автоматическая установка химико-механической полировки пластин KD36QS4
Установка KD36QS4 - это автоматизированная установка для полировки пластин из Si, Ge, GaAs,
сапфира, SiC, InP, GaN и других материалов. Установка KD36QS4 проводит полный процесс химико-механической полировки пластин с одной стороны, загрузка и выгрузка пластин осуществляется вручную.
Полировальный круг и четыре полировальные головки имеют независимые приводы с возможностью регулировки скорости. Модель имеет многоступенчатую систему гибкого прижима для реализации сложных техпроцессов, контроль температуры полировальной плиты для предотвращения деформации обрабатываемых деталей, цифровую систему дозирования полировальной жидкости.
Особенности установки полировки пластин KD36QS4
- Компактный дизайн для лабораторного применения и научно-исследовательских работ
- Высокая однородность обработки
- Автоматический контроль температуры
- Система автоматического переключения потоков и слива сточных вод и отработанных жидкостей
- Позволяет обрабатывать пластины различного диаметра из различных материалов
- Доступны специализированные решения по запросу Заказчика
| Диаметр полировальной плиты | 910 мм |
| Внешний диаметр рабочей плиты | 360 мм |
| Максимальный диаметр обрабатываемых пластин | 248 мм |
| Количество держателей пластин | 4 шт. |
| Скорость вращения плиты | 5 - 90 об/мин |
| Мощность | 15 кВт |
| Давление | 0,6 МПа |
| Вес | 3650 кг |
| Габаритные размеры | 1360х1330х2650 мм |