Установка шлифовки кремниевых пластин WBG1818

WBG1818 — это высокоточная установка для шлифовки кремниевых пластин с поперечной подачей. Устройство предназначено для удаления избыточного материала с обратной стороны пластин, обеспечения высокой плоскопараллельности граней пластин и минимальной шероховатости поверхности.

Установка шлифовки кремниевых пластин WBG1818

Ключевые особенности

• Размер пластин: от 100 до 300 дюймов
• Шлифовальный диск: Ø300 мм (стандарт)
• Погрешность толщины после шлифовки: ≤ ±3 мкм
• Максимальная шероховатость: Ra ≤ 0.13 мкм
• Скорость вращения шпинделя: 1000–4000 об/мин
• Автоматическая система очистки вакуумного стола

Технические характеристики

Основные параметры
Максимальные габариты 3300 × 1400 × 1800 мм
Максимальная масса 5000 кг
Рабочее напряжение 380 В, трёхфазное
Потребляемая мощность 18 кВА
Максимальное потребление охлаждающей воды 6,0 л/мин
Максимальное потребление воздуха (CDA) 400 л/мин
Система отвода пыли Внешний вентилятор, от 4,0 до 6,0 м³/мин
Шлифовальная система
Тип шлифовки Вращение пластины с поперечной подачей
Диаметр шлифовального диска Ø300 мм
Материал диска Алмазная связка
Скорость вращения шпинделя 1000–4000 об/мин
Мощность шпинделя 4,8 кВт
Минимальная толщина пластины после шлифовки 100 мкм
Контроль шероховатости Ra ≤ 0,13 мкм
Контроль плоскостности (TTV) ≤ 3 мкм
Автоматизация и управление
Программируемая система управления с сенсорным экраном Есть
Автоматическая подача и выгрузка пластин Есть
Система обнаружения центра пластины Точность до 0,5 мм
Высокоточный датчик измерения толщины Есть
Автоматическая чистка вакуумного стола Есть, двухступенчатый процесс
Дополнительные опции
Увеличенная мощность шпинделя До 8,5 кВт
Скорость вращения шпинделя До 6000 об/мин
Повышенная точность шероховатости До Ra ≤ 0,02 мкм
Регулировка угла наклона вакуумного стола Опционально