Автоматическая установка шлифовки пластин диаметром до 8" AG6800
Установка AG6800 - это автоматизированная установка для шлифовки и утонения пластин из Si, SiC, GaN, LN, LT, сапфира и других материалов.
Установка позволяет проводить полный процесс обработки пластин: сканирование пластин, захват с помощью роботизированного манипулятора, переворачивание, размещение на столе для выравнивания, перемещение в зону шлифовки, предварительная очистка, грубая шлифовка, точная шлифовка, перемещение в буферную зону, очистка щеткой, перемещение в зону очистки, финальная очистка и сушка, перемещение в кассету (выгрузка пластин).
Особенности установки шлифовки пластин AG6800
- Компактный дизайн для лабораторного применения и научно-исследовательских работ
- Высокая однородность шлифовки
- Возможность шлифовки пластин до толщины в 100 мкм
- Полностью автоматизированный процесс
- Позволяет обрабатывать пластины различного диаметра из различных материалов
- Удобный и понятный графический интерфейс пользователя
- Доступны специализированные решения по запросу Заказчика
Типовые процессы шлифовки на установке АG6800
| Материал пластины | SiC | SiC | LT | LT | GaN | GaN |
| Диаметр пластины | 4" | 6" | 4" | 6" | 4" | 6" |
| Зернистость | #8000 | #8000 | #5000 | #5000 | #6000 | #6000 |
| Скорость обработки (мкм/с) | 0.6 | 0.4 | 0.7 | 0.5 | 0.2 | 0.1 |
| Шероховатость Ra (нм) |
<10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 |
Технические характеристики установки шлифовки пластин AG6800
| Диаметр пластин | 4’’, 5’’, 6’’, 8’’ |
| Производительность | более 30 пластин/час |
| Скорость вращения шпинделя | 1000 - 6000 об/мин |
| Количество шпинделей | 2 шт. |
| Мощность | 4,5 кВт/7,5 кВт |
| Диапазон перемещений по оси Z | 80 мм |
| Повторяемость | 0,001 мм |
| Разрешение | 0,0002 мм |
| Скорость обработки | 0,0001 - 0,08 мм/с |
| Минимальный шаг | 0,1 мкм |
| Шероховатость Ra | 20 нм (#2000) |
| TTV | ≤ 2 мкм |
| WTW | ≤ ±2 мкм |
| Метод измерения высоты | Контактный, бесконтактный |
| Доступные конфигурации | Краевая шлифовка, круговая обрезка, защитная ламинация |
| Габаритные размеры | 1200 х 2800 х 1900 мм |
| Вес | 4200 кг |