Автоматическая установка нанесения и проявления фоторезиста ACDM-200
Установка используется для нанесения и проявления фоторезистивных покрытий при производстве электронных изделий. Все процессы полностью автоматизированны: позиционирование и выравнивание пластин, нанесение фоторезиста, нанесение проявителя, сушка, охлаждение и транспортировка пластин внутри установки.
Установка ACDM-200 отличается высокой производительностью и высокой однородностью наносимых материалов. Модель может оснащаться прибором для измерения толщины наносимых покрытий и модулем нанесения антибликового слоя.
Технические характеристики установки нанесения и проявления фоторезиста ACDM-200:
| Макс. диаметр пластин | 8’’ |
| Количество питателей | 2 шт. по 25 пластин |
| Скорость вращения центрифуги | 6000 об/мин ± 1 об/мин |
| Ускорение вращения центрифуги | 100 – 30000 об/мин/с |
| Удаление краевого валика | Автоматическое |
| Неравномерность толщины наносимого фоторезиста | ≤ ±1,5% (3σ) |
| Метод проявления | Погружной, душевой или комбинированный |
| Неравномерность проявления | < 3% (3σ) |
| Температура нагрева нагревательной плиты | 50 - 180 °C ±0,2 °C |
| Шаг регулировки температуры нагрева | 0,1°C |
| Скорость нагрева | 15 °C/мин |
| Температура охлаждающей плиты | 18–30°C ±0,2 °C |
| Шаг регулировки температуры охлаждения | 0,1 °C |
| Скорость охлаждения | 100 °C/мин |
| Управление | ПЛК, сенсорный дисплей 17’’ |
| Габаритные размеры | 1350 х 1650 х 2100 мм |
| Вес | 1500 кг |
Особенности установки нанесения и проявления фоторезиста ACDM-200:
- Высокая производительность
- Интеллектуальное программное обеспечение для контроля всех этапов процесса
- Антикоррозионное исполнение
- Четырехосный роботизированный манипулятор для перемещения пластин
- Высокая точность позиционирования
- Однородное нанесение фоторезиста без пузырьков и дефектов
- Однородное нанесение проявителя
- Удаление остатков расходных материалов
- Автоматическая система блокировок для защиты оператора