Фотолитография
Фотолитографическое оборудование: совмещение и экспонирование, нанесение и проявление фоторезиста
Подразделы
Безмасковая литография
Безмасковая литография — технология прямого формирования микроструктур на поверхности материала без использования фотошаблонов. Изображение создаётся цифровой оптической системой и проецируется непосредственно на слой фоторезиста, что позволяет быстро изменять топологию, сократить время подготовки производства и изготавливать опытные образцы с высокой точностью.