Жидкостная обработка
Жидкостная обработка пластин и подложек: индивидуальная обработка, групповая обработка
Оборудование
Система нанесения, проявления и сушки фоторезиста MSX 1000
MSX 1000 - автоматическая система для групповой обработки подложек методом жидкостной обработки и в парах ГМДС
