АК Микротех
Оборудование для осаждения тонких пленок: термовакуумное распыление, магнетронное распыление, электроннолучевое осаждение, ионнолучевое осаждение, CVD-процессы
Оборудование для ионного легирования
Жидкостная обработка пластин и подложек: индивидуальная обработка, групповая обработка
Плазменное травление: реактивное ионное травление RIE, BOSCH-процесс
Фотолитографическое оборудование: совмещение и экспонирование, нанесение и проявление фоторезиста
Оборудование для бондинга пластин: постоянный бондинг, временный бондинг и дебондинг пластин
Оборудование для термической обработки пластин: LPCVD печи, RTA печи, RTP печи, диффузионный отжиг, восстановительный отжиг, окислительный отжиг