Полупроводниковое производство

Осаждение тонких пленок

Оборудование для осаждения тонких пленок: термовакуумное распыление, магнетронное распыление, электроннолучевое осаждение, ионнолучевое осаждение, CVD-процессы

Ионная имплантация

Оборудование для ионного легирования

Жидкостная обработка

Жидкостная обработка пластин и подложек: индивидуальная обработка, групповая обработка

Плазменное травление

Плазменное травление: реактивное ионное травление RIE, BOSCH-процесс

Фотолитография

Фотолитографическое оборудование: совмещение и экспонирование, нанесение и проявление фоторезиста

Бондинг и дебондинг пластин

Оборудование для бондинга пластин: постоянный бондинг, временный бондинг и дебондинг пластин

Термическая обработка пластин

Оборудование для термической обработки пластин: LPCVD печи, RTA печи, RTP печи, диффузионный отжиг, восстановительный отжиг, окислительный отжиг