Установка двусторонней шлифовки-полировки DSLP 45

DSLP 45 — это высокоточная установка для двусторонней шлифовки и полировки оптического стекла, кристаллов, кремниевых пластин, сапфировых пластин, керамических подложек и других твердых материалов. Оборудование использует автоматизированную систему контроля давления и независимый привод всех узлов для достижения высокой точности обработки и долговечности компонентов.

Применение

• Полупроводниковая промышленность – кремниевые пластины, GaAs, SiC, GaN
• Оптические компоненты – линзы, фильтры, стеклянные подложки
• Керамические подложки – LTCC, HTCC, пьезоэлектрические материалы

Ключевые особенности

• Высокоточная шлифовка и полировка
• Автоматическая плавающая система позиционирования
• Независимый привод верхней, нижней плиты и центрального колеса
• Полностью программируемая система управления (PLC Schneider, сенсорный экран 10 дюймов)
• Пневматическая система с прецизионным регулированием давления
• Устойчивость к вибрациям и стабильность параметров обработки
• Автоматическая система очистки вакуумного стола

Опционально

• Полуавтоматическая система подъема и опускания шестерней и водоудерживающего кольца
• Автоматическое пополнение шлифовальной жидкости
• Система вакуумной транспортировки заготовок

Технические характеристики

Параметр	Значение
Рабочий диаметр притирочной плиты	1154 мм (наружный) / 366 мм (внутренний)
Скорость вращения верхней и нижней плиты	3 – 45 об мин
Скорость вращения внутреннего кольца	3 – 30 об/мин
Максимальная потребляемая мощность	22 кВт
Рабочее напряжение	380 В ±10%, 50 Гц, трехфазное
Контрольное напряжение	AC 220 В, 50 Гц / DC 24 В
Привод и управление
Мотор привода верхней и нижней плиты	7,5 кВт
Мотор привода внутреннего кольца	3 кВт
Пневматические компоненты	SMC
Система управления	ПЛК, сенсорный экран 10”