Установка АОИ полупроводниковых пластин

Система автоматической оптической инспекции (AOI) предназначена для выявления дефектных полупроводниковых пластин и предотвращения их дальнейшего использования в производственном процессе. Использует методы машинного обучения и инфракрасной визуализации для выявления внутренних и поверхностных дефектов, невидимых невооруженным глазом.

Основные особенности

• Искусственный интеллект для анализа дефектов
• Поддержка системы управления производством (MES)
• Инфракрасная визуализация для выявления внутренних дефектов (опционально)
• Контроль качества с помощью статистического анализа процессов
• Высокоточная оптическая инспекция поверхности и краев пластин
• Высокоскоростной XY-Theta стол на линейных серводвигателях
• Эргономичный графический интерфейс (GUI)
• Автоматическая система очистки вакуумного стола

Опционально

• Инфракрасная визуализация для обнаружения скрытых дефектов
• Дополнительные алгоритмы машинного обучения для точной классификации дефектов

Технические характеристики

Параметр	Значение
Размер пластин	3×2 мм – 0.3×0.3 мм, толщина 0.2–1 мм
Точность обнаружения дефектов	1.5 мкм
Ход X/Y	300 мм, повторяемость ±1 мкм, точность ±5 мкм
Ход Z	400 мм, повторяемость ±1 мкм, точность ±5 мкм
Габариты	2320 мм (Д) × 1330 мм (Ш) × 1550 мм (В)
Масса	900 кг
Электропитание	~220В, 48A, 11кВт
Операционная система	Windows
Сжатый воздух	0.5-0.7 МПа (положительное давление), -60…-80 кПа (отрицательное давление)
Температура эксплуатации	25 ºС ± 5 ºС
Влажность	55% ± 15%