Ультразвуковой сканирующий микроскоп USM300

USM300 — это высокоскоростной ультразвуковой сканирующий микроскоп, предназначенный для неразрушающего контроля (NDT) внутренних дефектов материалов и качества сварных соединений. Установка обеспечивает сканирование со скоростью до 1000 мм/с и ускорением 8 м/с², что делает ее оптимальным решением для массового контроля качества полупроводников, интегральных схем, алмазов и других прецизионных компонентов.

Ультразвуковой сканирующий микроскоп USM300

Ключевые особенности

• Высокоскоростное сканирование – до 1000 мм/с
• Максимальная область сканирования – 500 мм
• Точность позиционирования – X/Y ≤ ±1 мкм, Z ≤ ±10 мкм
• Обнаружение внутренних дефектов в реальном времени
• Поддержка A-Scan, B-Scan и C-Scan режимов
• Система активного подавления вибраций для улучшения качества изображения

Применение

• Контроль качества упаковки полупроводниковых чипов
• Неразрушающий контроль сварных соединений
• Измерение толщины эпоксидных и металлических покрытий
• Анализ внутренних дефектов материалов

Технические характеристики

Параметр Значение
Габариты установки 1000 × 900 × 1500 мм
Размер ванны с водой 650 × 400 × 200 мм
Максимальная зона сканирования 500 мм
Рекомендуемая скорость сканирования 500 мм/с
Рекомендуемое разрешение изображений 1 – 4000 мкм
Система ультразвукового контроля
Частота дискретизации АЦП 100 МГц – 1,5 ГГц
Генератор импульсов диапазон частот 1 – 500 МГц
Ультразвуковые датчики
Частота 5 – 110 МГц
Фокусное расстояние 3 – 150 мм
Точность измерений
Погрешность измерения толщины стандартного образца ±1%
Погрешность измерения рабочих изделий ±1%
Диапазон измерения толщины
Эпоксидные материалы 0,1 – 0,5 мм (датчик 110МГц); 0,5 – 2 мм (датчик 50 МГц); 1,0 – 4,0 мм (датчик 15 МГц)
Медные материалы 0,5 – 1,4 мм (датчик 25 МГц); 1,2 – 3,7 мм (датчик 15 МГц)
Способность к обнаружению дефектов
Минимальный обнаруживаемый размер дефектов в горизонтальном направлении 0,15 мм (датчики 15 МГц, 25 МГц); 0,07 мм (датчик 50 МГц); 0,03 мм (датчик 110МГц)