Высокоточная установка монтажа кристаллов HAB1500

Система HAB 1500 предназначена для автоматического монтажа кристаллов с высокой точностью. Поддерживает технологии монтажа с использованием эпоксидного клея, серебряного клея, УФ-отверждаемого клея и эвтектического соединения. Возможен монтаж на подложки COC/COS, AOC/COB, GOLD BOX. Опционально поддерживается автоматическая загрузка и выгрузка.

Ключевые особенности

• Высокая точность позиционирования: ±1,5 мкм
• Автоматическая смена инструментов
• Контроль силы прижима в реальном времени
• Регулировка температуры в соответствии с заданным профилем
• Формирование газовой защитной среды

Технические характеристики

Параметр	Значение
Система монтажа кристаллов
Перемещение (X/Y/Z)	350 мм × 500 мм × 50 мм
Ось вращения	360° с точностью 0,02°
Минимальный размер кристалла	0,15 × 0,2 мм
Усилие прижима	10-2000 г (точность ±10%)
Автоматическая смена инструментов	до 26 штук
Материалы
Стандартные носители	2”×2”, 4”×4” гельпак/кассета
Опционально	автоматический конвейер, поддержка 6”/8” пластин
Система эвтектической сварки
Нагрев	импульсный
Температурный диапазон	25–400 °С (опционально до 600 °С)
Скорость нагрева	до 50 °С/с
Контроль процесса	защита формергазом, мониторинг температурного профиля
Система дозирования клея	Программируемый контроль объема
Опционально	возможность создания специальных профилей дозирования
Система штампелевания (опционально)	Автоматическая смена инструментов для штампелевания, поддержка различных размеров кристаллов и материалов клея
Система машинного зрения
Камеры	2 нижние + 1 верхняя
Источник света	4 программируемых источника на камеру (коллимированный белый свет, 3 кольцевых RGB источников света)
Электропитание	220-240 В, 50 Гц, 20А
Сжатый воздух	0,6 МПа, 300 л/мин
Азот	0,3 МПа, 30 л/мин, чистотой 99,9%
Вакуум	-80 кПа, 120 л/мин
Габариты	1360 мм × 1360 мм × 1950 мм
Масса	2000 кг
Рабочая температура	23±3 °C
Дополнительные функции	180° флип-система с сервоприводом, автоматическая калибровка давления, поддержка многокристальной сборки