Установка растяжения пленки-носителя DSXUV-WE12

Установка растяжения пленки-носителя используется в процессе дисковой резки пластины на кристаллы после УФ экспонирования пленки с целью облегчения процесса снятия кристаллов с пластины.

Установка растяжения пленки-носителя DSXUV-WE12

Благодаря возможности регулирования температуры нагрева стола, а также скорости растяжения и длительности процесса, установка обеспечивает равномерное растяжение по всей поверхности пленки, включая краевые области, не повреждая и не деформируя пленку.

Равномерное растяжение пленки-спутника гарантирует образование одинаковых зазоров между кристаллами, что позволяет избежать появления сколов и трещин на их краях при транспортировке или снятии кристаллов с пластины.

Особенности установки растяжения пленки-носителя DSXUV-WE12

  • Высокая надежность и стабильность процесса
  • Растяжение без повреждения пленки и кристаллов
  • Возможность регулировки параметров процесса
  • Подходит для различных типов пленки
  • Полуавтоматический или ручной режимы работы
  • Доступны специализированные решения по запросу Заказчика
  • Компактный дизайн для экономии производственного пространства
Макс. диаметр пластин 12’’
Размеры вспомогательного кольца Внешний диаметр: 345 мм, внутренний диаметр 325 мм
(другие размеры доступны по запросу)
Высота подъема рабочей платформы 18 - 60 мм
Тип пленки УФ, ПВХ, синие пленки
Толщина пленки 0,06 - 0,17 мм
Температура нагрева стола 0-100 ℃
Питание 220 В, 50/60 Гц
Требуемые подключения Сжатый воздух: 0,7 - 0,8 МПа
Габаритные размеры 712 х 625 х 1042 мм
Вес 160 кг
Скачать WE12.pdf