Автоматическая установка дисковой резки пластин диаметром до 12’’ АR9000Р
AR9000Р - это автоматическая двухшпиндельная установка дисковой резки пластин и подложек из кремния, арсенида галлия, сапфира, кварца, керамики, стекла и других материалов.
Преимущества установки АR9000Р:
- Высокая точность и производительность
- Подходит для пластин/подложек разного диаметра различных материалов
- Сенсорный дисплей обеспечивает удобство задания и редактирования параметров процесса
- Отображение параметров процесса в режиме реального времени
Технические характеристики установки АR9000Р:
| Макс. размер пластин/подложек | 12"; 180х180 мм; 280х280 мм |
| Скорость вращения шпинделя | 3000 - 60000 об/мин |
| Количество шпинделей | 2 шт. |
| Мощность шпинделя | 1,2 кВт/1,8 кВт/2,4 кВт/3,0 кВт |
| Диаметр режущего диска | 58 мм |
| Ход по оси Х | 310 мм |
| Скорость подачи по оси Х | 0,1-600 мм/с |
| Ход по оси Y | 310 мм |
| Разрешение по оси Y | 0,0001 мм |
| Точность позиционирования по оси Y | 0,002 мм |
| Ход по оси Z | 40 мм |
| Разрешение по оси Z | 0,0001 мм |
| Точность позиционирования по оси Z | 0,001 мм |
| Габаритные размеры | 1550 х 1255 х 1880 мм |
| Вес | 2100 кг |