Полуавтоматическая установка дисковой резки пластин диаметром до 12’’ АR7000
AR7000 - это полуавтоматическая одношпиндельная установка дисковой резки полупроводниковых пластин и подложек из кремния, арсенида галлия, сапфира, кварца, керамики, стекла и других материалов. Установка обеспечивает автоматическое распознавание, выравнивание пластины и автоматическую резку.
Модель AR7000 оснащена двумя комплектами микроскопов с разным увеличением (в диапазоне 70х–320х) для быстрого распознавания и выравнивания пластины или подложки, а также различными вариантами подсветки для лучшей визуализации. Опционально доступны функции обнаружения поломки лезвия и бесконтактного измерения высоты.
Преимущества установки АR7000:
- Высокая точность и производительность
- Подходит для пластин/подложек разного диаметра различных материалов
- Сенсорный дисплей обеспечивает удобство задания и редактирования параметров процесса
- Отображение параметров процесса в режиме реального времени
Технические характеристики установки АR7000:
| Макс. размер пластин/подложек | 12"; 300х300 мм |
| Скорость вращения шпинделя | 3000 - 60000 об/мин |
| Количество шпинделей | 1 шт. |
| Мощность шпинделя | 1,5 кВт/1,8 кВт/2,4 кВт |
| Диаметр режущего диска | 58 мм |
| Ход по оси Х | 300 мм |
| Скорость подачи по оси Х | 0,1-600 мм/с |
| Ход по оси Y | 300 мм |
| Разрешение по оси Y | 0,0001 мм |
| Точность позиционирования по оси Y | 0,003 мм |
| Ход по оси Z | 40 мм |
| Разрешение по оси Z | 0,0005 мм |
| Точность позиционирования по оси Z | 0,001 мм |
| Габаритные размеры | 1050 х 1100 х 1800 мм |
| Вес | 1000 кг |