Ручные, полуавтоматические и автоматические решения

Каждая система проектируется исходя из потребностей Заказчика.

Для работы с растворителями обычно применяются компоненты из нержавеющией стали исходя из требований к противопожарной безопасности.

Для работы с кислотами применяются компоненты из корозионно-стойкого пластика.

И в том, и в другом случае применяется наиболее оптимальное сочетание материалов, чтобы предотвратить химическое загрязнение или деградацию материалов, а также обеспечить длительную и безопасную эксплуатацию предлагаемых систем.

Системы жидкостной обработки в ваннах SPM

Ванны для отмывки, химической обработки и сушки разрабатываются с применением современных технологий и материалов.

Системы жидкостной обработки могут быть сконфигурированы для работы с одним или двумя носителями подложек.

Станадртный диаметр подложек варьируется от 75 мм до 200 мм, опционально доступны большие размеры.

​

Ванны для систем жидкостной обработки SPM могут быть оснащены следующими опциями:

• Модуль УЗ-очистки

• Модуль Мега звуковой очистки

• Модуль быстрой промывки

• Поворот подложек на 360°

• Перемещение держателя подложек вверх и вниз с настраиваемой глубиной и частотой

• Контроль температуры: нагрев и охлаждение

• Системы рециркуляции с различными типами насосов и регуляторами потока

• Решения для смешивания реагентов

• Системы наполнения ванн из систем CDS или использование встроенных бутылей или канистр

• Обработка пузырями N2

• Управляемая атмосфера

• Конденсатор испарений

• pH-метр

• Монитор концентрации

• Редокс-потенциал

• Измеритель сопротивления

• Автоматические защитные крышки на ванны

​

Опции для систем жидкостной обрабокти SPM:

• Автоматическая система управления вытяжкой

• Ламинарный поток с HEPA фильтрами

​

Все системы жидкостной обработки SPM управляются с через ПЛК и сенсорный экран.

Программное обеспечение разработано инженерами компании SPM и обладает соврмененным интерфейсом и полезными опциями:

• Управление рецептами

• Сохранение log-файлов

• Host SECS-GEM интерфейс

Для получения дополнительной информации по системам жидкостной обработки компании [Данные удалены] обращайтесь к нашим специалистам.