Микросборка

Заголовок страницы

ma_ap-600_pic

Настольная установка плазменной обработки модели AP-600

Настольная установка плазменной обработки модели AP-600 Установка плазменной обработки AP-600, производства компании Nordson MARCH, предназначена для плазменной очистки и активации поверхностей для улучшения адгезии, что делает её применимой в микроэлектронном производстве на операциях микросборки, а также в производстве медицинский изделий. Позволяет работать с широким набором газов (аргон, кислород, водород, гелий, фторсодержащие газы). В базовой конфигурации установка оснащается двумя РРГ, обеспечивающими поддержание оптимального парциального состава газа в камере. Также система может быть доукомплектована двумя опциональными дополнительными РРГ.

Особенности и опции модели AP-600​​

  • Компактная конструкция с размещением всех компонентов в компактном корпусе;

  • Вакуумный насос может быть установлен за пределами ЧПП;

  • Управление с помощью сенсорного экрана с графическим интерфейсом пользователя;

  • Благодаря возможности установки различного количества полок достигается возможность обработки большого диапазона изделий;

  • ВЧ генератор с частотой 13,56 МГц с системой автоматического согласования обеспечивает высокую повторяемость процесса;

  • До 7 съемных полок, что дает возможность обрабатывать широкую номенклатуру изделий, технологических лодочек и паллет.

Технические характеристики модели AP-600

Рабочая камера

Объем: 50,4 л

Возможная конфигурация электродов

Фаза – Ноль, Ноль – Фаза, Фаза – Фаза

Количество положений установки электродов: 7

Шаг установки электродов: 25,4 мм

Электроды

Рабочая зона фазного электрода: 330 х 330 мм

Рабочая зона фазного/ нулевого электрода: 368 х 330 мм

ВЧ мощность

Стандартная мощность: 600 Вт

Частота: 13,56 МГц

Управление подачей газа

Возможные максимальные потоки: 10, 25, 50, 100, 250 или 500 ст.см3/мин

Максимальное количество РРГ: 4

Управление

ПЛК с графическим сенсорным интерфейсом пользователя

Вакуумный насос

​

Стандартный насос: 19,5 фут3/мин с совместимым с О2 маслом

Опциональный насос: 9,5 фут3/мин с совместимым с коррозионными газами маслом

Опциональный продуваемый сухой насос: 22 фут3/мин

Требования к подключениям

Источник питания

220 В, 10А, 50/60 Гц

Подключение газов, сжатого воздуха

Трубка с фитингом Swagelok ¼”

Давление технологических газов    0,69 – 1,03 бар

Давление продувочного газа    2 – 7 бар

Давление сжатого воздуха    3,5 – 7 бар

Габаритные размеры: 569 х 869 х 704 мм

Масса: 221 кг