Атмосферная камера серии MX2000 является наиболее востребованной моделью в серии атмосферных камер от Amada Miyachi на российском рынке.

​

Особенности

​• Широкий выбор возможностей управления параметрами камеры

• Множество вакуумных насосов для различных требований к уровню вакуума в загрузочном шлюзе и печи — безмасленные, пластинчато-роторные, турбомолекулярные

• Большое смотровое окно для обеспечения обзора процесса и удобства обслуживания камеры

• Опциональный ПЛК для быстрой переналадки при помощи удобного программного обеспечения

• Прочная конструкция камеры гарантирует длительный срок эксплуатации и стабильность проводимых процессов

• Опциональное устройство осушки газа с одной или двумя колоннами для снижения уровня влажности и уровня кислорода 

• Модульность конструкции обеспечивает возможность её дооснащения в случае необходимости

• Два типоразмера камеры: 48” и 56”

Технические характеристики камеры MX2000

• Расположение загрузочного шлюза и печи: Слева, справа или на задней стенке камеры

• Подогреваемые области шлюза и камеры: На стенках или полках

• Температура нагрева стенок или полок: Стандартно 125°C или 200°C, Опционально >200°C по запросу

• Отображение уровня кислорода: От 0 до 1000 PPM или в процентах %

• Отображение уровня влажности: От 0 до 150 PPM или в °C точки росы

• Мониторинг уровня аргона и гелия: В процентах %