Программируемая высоковакуумная печь модели SST 3250
Печь модели SST 3250 – это программируемая высоковакуумная многоатмосферная печь, предназначена для сборки высоконадежных электронных компонентов на пластинах диаметром 150-200 мм.
Особенности
Система работает при давлении от 10-7 Торр до 12 psigс автоматическим выбором и контролем за подачей до трех различных газов в процессную камеру. В системе предусмотрен автоматический контроль давления процессного газа и автоматическая регулировка скорости потока газов.
Параметры процессов хранятся в памяти промышленного ПК печи и загружаются с помощью встроенного программного обеспечения.
Система поддерживает температуру с точностью 1°C при максимальной рабочей температуре 350°C
Типовые примения
• Герметизация MEMS компонентов
• Герметизация ИК-датчиков
• Сборка пластин
• Бездефектная пайка на эвтектический припой
• Герметизаци компонентов с низким уровнем влажности в подкорпусном пространстве
• Сборка корпусов для военных применений
Опции
• Разработка графитовой оснастки на заказ;
• Анализатор парциального давления;
• Анализатор кислорода;
• Контроль влажности;
• Контроль температуры в нескольких точках;
• Чиллер.
Технические характеристики
Рабочая температура: 350 °C
Размер рабочей зоны: под пластины диаметром 200 мм
Высота рабочей зоны: настраиваемая до 95 см
Минимальный уровень вакуума: 10-7 мбар
Требования к подключению
Используемые газы (три входа): N2 необходим, (Ar, He, форминг газ) @ 90 psig (7 бар) минимальное давление
Питание: 220 В, 60 А, 50 Гц, 3 фазы, 6,5 кВт, 23 кВт (пиковая)
Необходимая вода для охлаждения: 19 л/м @ 20–25 °C, емкость 2 кВт
Размеры (Ш x Г x В): 2380 мм x 1090 мм x 1370 мм
Вес: 910 кг
