Автомат дисковой резки с двумя шпинделями ADT 8020

ma_adt8020

Полностью автоматическая система дисковой резки с двумя шпинделями серии ADT 8020

Области применения автоматических установок дисковой резки с двумя шпинделями серии ADT 8020:

  • Резка кремниевых и SiC пластин
  • Резка стекла и кремния на стекле
  • Резка пластин с МЭМС/НЭМС-компонентами
  • Резка ПАВ-устройств
  • Резка LED-сборок
  • Разделение корпусов BGA и QFN типа

Общие характеристики для серии ADT 8020:

Размер рабочей области: диаметр до 200 мм

Шпиндель: на воздушной подушке, 60 000 об/мин, 1,2 кВт, 2,4 кВт при 30 000 об/мин (опционально) или 1,8 кВт при 60 000 об/мин (опционально)

Диаметр лезвия: 2″ и 3″

Разрешение по осям Y1 и Y2: 0,1 мкм

Суммарная точность по осям Y1 и Y2: 1,5 мкм 

Скорость перемещения по оси X: до 600 мм/с

Разрешение по осям Z1 и Z2: 0,2 мкм

Повторяемость по осям Z1 и Z2: 1,0 мкм

Ход по осям Z1 и Z2: 30 мм

Поворот рабочего стола: до 350°

Оптическая система: Цифровая камера, сверхъяркая светодиодная подсветка (вертикальная и под углом), цифровое увеличение от X70 до X280 (стандартно) или от X50 до X200 (опционально)

Интерфейс управления на базе двух сенсорных мониторов 19” и 17”


Встроенная система отмывки

Скорость вращения: от 100 об/мин до 2000 об/мин

Метод очистки: спреевая очистка, полный цикл отмывки и сушки


Встроенные системы:

Система загрузки пластин, автоматическое выравнивание и коррекция смещения подложек, автоматическая проверка резка


Доступные опции:

Детектор поломки режущих дисков;

Станция заточки режущих дисков;

Станция УФ-облучения для снижения адгезии к пленке носителю;

Устройство отвода электростатического заряда;

Считыватель штрих-кодов;

SECS-GEM интерфейс.


Габариты (ШхГхВ): 1015 мм x 1460 мм x 1820 мм 

Масса: 1300 кг

Электропитание: 220 В переменного тока, 50 Гц, одна фаза

Сжатый воздух: 500 л/мин, давление 5,5 бар

Вода для охлаждения шпинделя: 1,1 л/мин на один шпиндель

Процессная вода: до 3 л/мин на один шпиндель


Ознакомиться с информацией по данной печи модели SST 3150 на сайте производителя.