Полностью автоматическая система дисковой резки с двумя шпинделями серии ADT 8020
Области применения автоматических установок дисковой резки с двумя шпинделями серии ADT 8020:
- Резка кремниевых и SiC пластин
- Резка стекла и кремния на стекле
- Резка пластин с МЭМС/НЭМС-компонентами
- Резка ПАВ-устройств
- Резка LED-сборок
- Разделение корпусов BGA и QFN типа
Общие характеристики для серии ADT 8020:
Размер рабочей области: диаметр до 200 мм
Шпиндель: на воздушной подушке, 60 000 об/мин, 1,2 кВт, 2,4 кВт при 30 000 об/мин (опционально) или 1,8 кВт при 60 000 об/мин (опционально)
Диаметр лезвия: 2″ и 3″
Разрешение по осям Y1 и Y2: 0,1 мкм
Суммарная точность по осям Y1 и Y2: 1,5 мкм
Скорость перемещения по оси X: до 600 мм/с
Разрешение по осям Z1 и Z2: 0,2 мкм
Повторяемость по осям Z1 и Z2: 1,0 мкм
Ход по осям Z1 и Z2: 30 мм
Поворот рабочего стола: до 350°
Оптическая система: Цифровая камера, сверхъяркая светодиодная подсветка (вертикальная и под углом), цифровое увеличение от X70 до X280 (стандартно) или от X50 до X200 (опционально)
Интерфейс управления на базе двух сенсорных мониторов 19” и 17”
Встроенная система отмывки
Скорость вращения: от 100 об/мин до 2000 об/мин
Метод очистки: спреевая очистка, полный цикл отмывки и сушки
Встроенные системы:
Система загрузки пластин, автоматическое выравнивание и коррекция смещения подложек, автоматическая проверка резка
Доступные опции:
Детектор поломки режущих дисков;
Станция заточки режущих дисков;
Станция УФ-облучения для снижения адгезии к пленке носителю;
Устройство отвода электростатического заряда;
Считыватель штрих-кодов;
SECS-GEM интерфейс.
Габариты (ШхГхВ): 1015 мм x 1460 мм x 1820 мм
Масса: 1300 кг
Электропитание: 220 В переменного тока, 50 Гц, одна фаза
Сжатый воздух: 500 л/мин, давление 5,5 бар
Вода для охлаждения шпинделя: 1,1 л/мин на один шпиндель
Процессная вода: до 3 л/мин на один шпиндель