Система дисковой резки с двумя шпинделями серии 7900
Области применения установок дисковой резки с двумя шпинделями серии ADT 7900:
- Разделение керамических подложек или подложек керамических корпусов
- Резка тонкоплёночных и гибридных модулей
- Резка стекла и кремния на стекле
- Резка пластин: GaAs, сапфир, кремний, другие полупроводниковые материалы
- Резка пластин с МЭМС/НЭМС-компонентами
- Резка пластин со светодиодными компонентами
- Резка пластин с оптоэлектронными компонентами
- Резка пластин с интегральными схемами
- Резка печатных плат
Установка дисковой резки ADT 7900:
Размер рабочей области:
200 мм х 200 мм
Установка дисковой резки ADT 7900 LA:
Размер рабочей области:
250 мм х 250 мм
Общие характеристики для серии ADT 7900:
Два соосно направленных шпинделя:
на воздушной подушке, 60 000 об/мин, 1,2 кВт (стандартно), 2,4 кВт (опционально)
Диаметр лезвия: 2″ и 3″
Разрешение по осям Y1 и Y2: 0,1 мкм
Суммарная точность по осям Y1 и Y2: 1,5 мкм
Скорость перемещения (подачи) по оси X: до 600 мм/с
Разрешение по осям Z1 и Z2: 0,2 мкм
Точность по осям Z1 и Z2: 2,0 мкм
Повторяемость по осям Z1 и Z2: 1,0 мкм
Ход по осям Z1 и Z2: 40 мм
Оптическая система:
Цифровая камера, сверхъяркая светодиодная подсветка (вертикальная и под углом), цифровое увеличение от X70 до X280 (стандартно) или от X35 до X140 (опционально)
Встроенные системы:
Автоматическое выравнивание и коррекция смещения подложек, автоматическая проверка резка, датчик поломки лезвия (опционально), считыватель штрих-кодов (опционально), узел правки дисков (опционально) и другое
Габариты: 875 мм x 975 мм x 1450 мм (ШхГхВ)
Масса: 900 кг
Электропитание: 220 В переменного тока, 50 Гц, одна фаза
Сжатый воздух: 260 л/мин, давление 5,5 бар
Вода для охлаждения шпинделя: 1,1 л/мин на один шпиндель
Процессная вода: до 3 л/мин на один шпиндель