Установка полуавтоматического монтажа пластин на плёнку-носитель модели ADT 967

Установка модели ADT 967 зарекомендовала себя как надёжное решение для полуавтоматического монтажа пластин в полупроводниковых производствах по всему миру.

Данная модель позволяет проводить быстрый, точный и бездефектный монтаж пластин на плёнку-носитель перед операцией дисковой резки.

После введения в эксплуатацию установка монтажа модели ADT 967 обеспечивает экономически выгодный, высококачественный и повторяемый процесс монтажа полупроводниковой пластины на плёнку-носитель для ряда применений.

Решение I

“Бесконтаткный” метод монтажа полупроводниковой пластины на плёнку-носитель для МЭМС применений и чувствительных к касанию пластин

Монтаж полупроводниковых пластин с нанесёнными микроструктурами или чувствительными покрытиями требует специального решение в виде “бесконтактного” держателя пластины.

Пластина на таком держателе фиксируется по своим краям и прижимается к держателю с помощью вакуума. Для того, чтобы пластина не треснула в процессе нанесения плёнки, во время прокатывания валика по поверхности пластины в пространство между пластиной и держателем нагнетается сжатый воздух (Рис. 1).

Таким образом с помощью установки монтажа модели ADT 967 и такого держателя можно проводить стабильный, бездефектный монтаж пластин на плёнку носитель.

Решение II

Для монтажа тонких пластин GaAs, Si, Ge, а такжедругих пластин

Такие механические свойства ультра-тонких полупроводниковых пластин как хрупкость и коробление могут вызвать трудности при переносе пластин.

Для решения этой задачи компания ADT разработала особый перфорированный держатель с превосходной обработкой рабочей поверхности держателя (Рис.2).

Такой держатель позволяет удерживать сильно коробленые пластины GaAs не повреждая при этом поверхность самой пластины.

Совместно со специализированной оснасткой для перемещения пластин компания ADT предлагает своим клиентам проверенные решения для такого сложного процесса.

Решение III

Прямой монтаж плёнки носителя на поверхность пластины без использования рамки

При необходимости нанести плёнку носитель на поверхность полупроводниковой пластины можно также использовать решение на базе установки ADT модели 967. После нанесения плёнки на пластину специальный нож обходит по контуру пластины и обрезает излишки плёнки. После этого шага пластина готова для дальнейших технологических операций (Рис. 3)